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고순도가스 (Pure Specilalty Gases) |
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고순도가스는 금속, 석유화학, 자동차 공업, 반도체산업 및 각종 실험, 연구생산용 등으로 사용되어지고 있습니다.
고순도가스는 무기계와 유기계로 나누어 지는데 무기계는 네온, 산소, 수소, 아르곤, 헬륨 등이며 유기계는 탄화수소 화합물인 메탄, 에탄, 프로판 등이 있습니다.
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● 종류와 순도
- 산소(O2) 99.99% ~ 99.999%
- 질소(N2) 99.999% ~ 99.9999%
- 아르곤(Ar) 99.999% ~ 99.9999%
- 헬륨(He) 99.999% ~ 99.9999%
- 수소(H2) 99.999% ~ 99.9999%
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● 용도
- 각종 분석기
- 금속산업의 분광분석기
- 반도체산업의 독성가스 Purge, Epitaxy, Diffusion, Oxide Sputtering 공정 등
- 실리콘봉 제조시 분위기 가스
- 전구의 주입용 가스
- 석유화학공업
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