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반도체가스

반도체가스 (Gases for Semicoductor Fabrication Process)

   반도체용 가스는 반도체의 특성을 만들기 위한 DOANT, ETCHANT, REACTANT, REACTANT, PURGE가스 등으로 구분되며 그 종류가 다양하고 대부분 독성이며, 높은 순도를 요구 합니다.
● 주요반도체용 특수가스의 종류 및 특성
종류 몰중량 냄새 공기중 발화력(%) 독성(ppm) 부식성
SiH4 32.118 불쾌한 냄새 자연발화 1.35~ O 5 X
SiF4 104.08 자극적 냄새 비연소성 - O 2.5(mgF)/m2 O
PH3 34 고기썩는 냄새 자연발화 1.32~ O 0.3 X
BF3 67.82 자극적 냄새 비연소성 - O 0.3 O
NF3 71 무취 지연성 - O 10 X
SF3 146.05/td> 무취 비연소성 - X 1000 X
WF6 279.84 자극적 냄새 비연소성 - O 2.5(F)/m2 O
HCI 36.46 자극적 냄새 비연소성 - O 5 O
C2F6 138.012 무취 비연소성 - X X
CIF3 92.45 불쾌한 냄새 지연성 - O 0.1 O
NH3 17.03 자극적 냄새 지연성 15.5~27 O 25 O
● 용도
     - 반도체 제조산업
     - 반도체 제조 연구용
      본사 : 울산광역시 남구 산업로 428 (여천동913-2번지)     T. 052-260-3311~7   F. 052-267-1141   E. donghae@dhgi.co.kr
포항공장 : 경북 포항시 청하면 동해대로 2083 (소동리 525-5번지)     T. 054-256-3399   F. 054-241-3399
울진공장 : 경북 울진군 죽변면 동해대로 5069 (후정리 918-3번지)     T. 254-781-6661   F. 054-781-6663
특수가스2공장 : 울산광역시 남구 신두왕로 51 (두왕동 769-4번지)     T. 052-260-3311   F. 052-267-1141
LPG사업소 : 경상북도 군위군 군위읍 금구리 676-1     T. 054-382-4122   F. 054-382-4122
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